數字式質量流量控制器 我們提供基于領域技術開發的各種型號以滿足用戶需求

各種氣體在不同的工業領域中有各種用途：從廣受矚目的新能源領域，太陽能面板和燃料電池的研發和制造，到電子工業中的半導體，液晶面板和LED的研發制造。各種氣體在推動社會發展的進程中發揮著作用。

而對氣體流量的精確測量與控制也是提高生產率和能源節省所需要的。

HORIBA STEC專注于質量流量控制器的研究開發，服務于近乎藝術級的半導體制程，并持續不斷地制造各類新的產品，滿足用戶的各種需求。

數字式質量流量控制器多種配置選擇

通信模式可選擇數字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS。

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規格供選擇：124 mm-和106mm-(W系列)。

氣體流量控制范圍擴大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要氣體控制方面的應用。

高精度

高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了最新開發的“可變PID系統"，對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據當下的設定點不斷變化，其PID參數也將隨之被優化。

多氣體、多量程的解決方案

專用的軟件賦予用戶可以自由更改規格的能力最新的多氣體、多量程系統使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

流量控制范圍為標定滿量程的2～100%