產(chǎn)品簡介：

流量計(jì)/控制器和壓力控制器廣泛應(yīng)用于氣相色譜、分析設(shè)備、材料設(shè)備、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

G300C 系列流量控制器可根據(jù)客戶需求定制，更加適用于客戶使用環(huán)境。

數(shù)字式設(shè)計(jì)簡介：

G300C 系列質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展至 255 臺(tái)設(shè)備同時(shí)使用。

G300C 質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)：

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜2W

? 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類

? 可自定義 10 種混合氣體

? 控制參數(shù)自整定功能

? 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍

? 無需預(yù)熱

? 無安裝方向限制

? 具有高重復(fù)性和高可靠性

? 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快

? 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃

? 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸

量程及精度簡介：

? 可用量程：

? 最大 0-50slpm

? 最小 0-1sccm

? 常備量程請參考選型表

? 量程比：1000:1    ? 滿量程精度：±0.2%

? 讀取精度：±0.8%   ? 可重復(fù)性：±0.2%FS

? 響應(yīng)時(shí)間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮 短響應(yīng)時(shí)間）

應(yīng)用領(lǐng)域：

? 氣相和液相色譜儀 ? 半導(dǎo)體工藝

? 環(huán)境監(jiān)測設(shè)備   ? 微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）

? 氣體發(fā)生器    ? 配氣混氣系統(tǒng)

功能介紹：

流量控制                          可實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。

累計(jì)流量                          可通過 Modbus-RTU 協(xié)議讀取累計(jì)流量。

獨(dú)立使用                          無需連接任何設(shè)備，可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。

多種量程選擇                  最小量程 1sccm，最大量程 50slpm。

內(nèi)置 20 種基本氣體        內(nèi)置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣        可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。

多電氣接口                     標(biāo)準(zhǔn)配置 1 個(gè) DC 插座，2 個(gè) RJ45 接口，1 個(gè) DB9 接口。

模擬控制                         0-5V 模擬控制信號(hào)輸入輸出。

數(shù)字控制                         按鍵控制或使用 RS-485 通信控制。

標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU      RS-485 通信采用標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU 通信協(xié)議。

參數(shù)自整定                    控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)整到最佳 PID 控制參數(shù)。

設(shè)定值記憶功能             開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前最后一次設(shè)定值，再次通電直接執(zhí)行該設(shè)定值。

閥控功能                        可實(shí)現(xiàn)閥全開、閥全關(guān)、閥自動(dòng)閉環(huán)控制功能。

多臺(tái)設(shè)備串聯(lián)                 通過更改通信地址，最大可實(shí)現(xiàn) 255 臺(tái)設(shè)備串聯(lián)控制。

自定義波特率                  可通過 Modbus-RTU 設(shè)置自定義波特率。